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真空回流炉工艺实验规范及工艺流程

发布时间:2025/7/2912

产品组装:

烧结前用超声波清洗清洗管壳、过渡片、基板等,再用氮吹干。

若芯片表面有发黄、或者长时间暴露在空气中,再用等离子清洗去除有机物。

按产品装配图要求选择相应烧结板将管芯、焊料、管壳等组装到一起。

组装完毕后将箱盖关闭,炉盖锁紧方可开始烧结。

注意事项:

回流炉每天用乙醇布将观察口擦净并用氮清洁腔体。

不可用手直接接触炉腔内部件。

不可用坚硬的物体(如:镊子)接触烧结板,避免破坏烧结板表面镀层。

在回流炉组装产品时要小心谨慎,避免将部件或者管芯掉入腔体底部。

条件准备:

同规格样品不少于10只(客户提供),提供夹具为优,若无夹具可提供样品图纸,由华创设计加工;

样品详细图纸(客户提供);

真空回流炉(华创提供);

空洞测试X光机(华创提供);

推拉力测试(华创提供);

其他辅助工具(氮气、甲酸等,华创提供)

实验步骤:

依据客户样品实物及图纸,填写报告中的样品数据信息,并进行样品编号;

夹具及样品热熔测试:将移动热电偶丝插入夹具热偶孔或粘贴样品上,测试夹具及样品热熔,确定初步烧结工艺;

确定初步烧结方案,选取1只样品进行常规工艺烧结,烧结效果进行目检和空洞测试;

烧结效果满足要求,继续完成剩余样品烧结;效果无法满足,优化工艺方案,再次按照实验步骤2进行烧结,直至满足客户要求。

确定实验方案后,将剩余样品进行全部烧结;

拍X光测试空洞照片,留存电子档信息;

将烧结后样品抽真空邮寄回客户。

检验标准:

检验标准第1项用100~200倍显微镜目检,第2、3、4项用30~50倍显微镜目检。第5项用X光机测试。

依据GJB128A-97试验方法2069、2072、2073、2074

1. 芯片表面无蹭伤、无可移动的多余物,边缘整齐未伤及有源区。

2. 焊料情况

a. 焊料融化充分,无氧化现象。

b. 焊料对焊接部分的浸润作用连续,无空洞现象,焊料与芯片接触面积达50%以上。

c. 焊料未流到芯片正面、管座的焊接凸缘的任何部分。

3. 装配位置

烧结位置与烧结键合图一致,装配器件(芯片)倾斜小于10°。

4. 多余物

a. 焊料碎渣及钉状物:焊料碎渣及钉状物牢固地附着在焊料的母体上;

b. 多余物:无附着的焊料球、硅片碎渣、剥落的镀层碎片或小于边缘氧化层宽度不透明物质。

5. 空洞测试:空洞满足客户要求及标要求。

(特殊要求请提前说明)

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